Design, fabrication and testing of surface micromachined CMUTs for surface and interface waves
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Design, fabrication, and characterization of surface micromachined MEMS cantilever components
Microelectromechanical System (MEMS) and microfabrication have experienced phenomenal growth over the past few years, and have had tremendous impact on and have also led to major breakthroughs in information technology, computers, medicine, health, manufacturing, transportation, energy, avionics, security, etc. Development of MEMS is multiphysics in nature and is based upon fundamental theory, ...
متن کاملpreparation and characterization of new co-fe and fe-mn nano catalysts using resol phenolic resin and response surface methodology study for fischer-tropsch synthesis
کاتالیزورهای co-fe-resol/sio2و fe-mn-resol/sio2 با استفاده از روش ساده و ارزان قیمت همرسوبی تهیه شدند. از رزین پلیمری resol در فرآیند تهیه کاتالیزور استفاده شد.
the study of bright and surface discrete cavity solitons dynamics in saturable nonlinear media
امروزه سالیتون ها بعنوان امواج جایگزیده ای که تحت شرایط خاص بدون تغییر شکل در محیط منتشر می-شوند، زمینه مطالعات گسترده ای در حوزه اپتیک غیرخطی هستند. در این راستا توجه به پدیده پراش گسسته، که بعنوان عامل پهن شدگی باریکه نوری در آرایه ای از موجبرهای جفت شده، ظاهر می گردد، ضروری است، زیرا سالیتون های گسسته از خنثی شدن پراش گسسته در این سیستم ها بوسیله عوامل غیرخطی بوجود می آیند. گسستگی سیستم عامل...
Design, Fabrication, and Testing of Micromachined Silicone Rubber Membrane Valves
Technologies for fabricating silicone rubber membranes and integrating them with other processes on silicon wafers have been developed. Silicone rubber has been found to have exceptional mechanical properties including low modulus, high elongation, and good sealing. Thermopneumatically actuated, normally open, silicone rubber membrane valves with optimized components have been designed, fabrica...
متن کاملPhysical Design for Surface-micromachined Mems
We are developing physical design tools for surfacemicromachined MEMS, such as polysilicon microstructures built using MCNC’s Multi-User MEMS Process service. Our initial efforts include automation of layout synthesis and behavioral simulation from a MEMS schematic representation. As an example, layout synthesis of a folded-flexure electrostatic combdrive microresonator is demonstrated. Lumpedp...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Elektronika ir Elektrotechnika
سال: 2016
ISSN: 2029-5731,1392-1215
DOI: 10.5755/j01.eie.22.5.7123